特許
J-GLOBAL ID:200903001366149866

昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガス分析方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-017052
公開番号(公開出願番号):特開平11-211697
出願日: 1998年01月29日
公開日(公表日): 1999年08月06日
要約:
【要約】【課題】各種無機成分から成る部材を昇温加熱した際に発生する気化成分より成る昇温脱離ガス中、昇温脱離ガス分析装置の低温部で凝集固化する成分を効率良く回収し、凝集せずに気体のまま存在する昇温脱離ガス成分と共に、定性・定量分析可能な昇温脱離ガス分析装置及び昇温脱離ガス分析方法を提供する。【解決手段】昇温脱離ガス出口側7に冷却装置8を備えた石英より成るチューブ5を配設した加熱部3と、昇温脱離ガス成分を測定する質量分析計4とから成る昇温脱離ガス分析装置で、石英より成るチューブ5に収納した試料2を加熱部3により昇温加熱して昇温脱離ガスを発生させ、該昇温脱離ガスを昇温脱離ガス出口側7に設けた冷却装置8で冷却し、凝集固化物はICP発光分光分析装置又は原子吸光分析装置で、凝集しない気体は質量分析計4で定性・定量分析する。
請求項(抜粋):
試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させるための加熱部と、前記試料から発生した昇温脱離ガスの成分を測定するための質量分析計とを備えた昇温脱離ガス分析装置であって、前記加熱部に試料を昇温加熱して脱離ガスを発生させるための石英より成るチューブを配設し、該チューブの昇温脱離ガス出口側の周囲に、0〜60°Cに温度制御可能な冷却装置を具備したことを特徴とする昇温脱離ガス分析装置。
IPC (6件):
G01N 27/62 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/22 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/31 ,  G01N 21/73
FI (7件):
G01N 27/62 F ,  G01N 1/00 101 R ,  G01N 1/22 T ,  G01N 21/31 A ,  G01N 21/73 ,  G01N 1/28 K ,  G01N 1/28 X
引用特許:
審査官引用 (2件)

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