特許

J-GLOBAL ID：200903001403018416

照射材料のための基板

発明者： プートー, パトリック ,  シャトン, パトリック ,  ペロ, フランソワ
出願人/特許権者： コミツサリア タ レネルジー アトミーク ,  ビオメリュー・ソシエテ・アノニム
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-550444
公開番号（公開出願番号）：特表2004-523780
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2004年08月05日
要約：

本発明は、照射光により照射される材質層の受光面(4)を有する基板(1)に関するものである。当該基板では、前記受光面(4)と照射される材質層との間に鏡を形成する手段(3)を配設し、当該鏡を形成する手段(3)は、照射光の波長において機能する。この種の基板は、マイクロ電子またはマイクロ技術デバイスあるいはバイオチップを製作するために使用することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

照射光により照射される材質層の受光面(4)を有する基板(1)であって、上記受光面(4)と照射される材質層との間に鏡を形成する手段(3)を配設し、上記手段(3)が照射光の波長において機能することを特徴とする基板。

IPC (2件)：

G02B5/26 ,  G03F7/004

FI (2件)：

G02B5/26 ,  G03F7/004 511

Fターム (12件)：

2H025AB20 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H048FA05 ,  2H048FA15 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA15

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 波長選択素子およびこれを使用した光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-135200   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 多層膜フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-043188   出願人：東芝硝子株式会社