特許
J-GLOBAL ID：200903001417250559
イオンエネルギー測定方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-248854
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074481
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 RF電力が印加されている測定対象物上のイオンエネルギーを測定するイオンエネルギー測定方法及び装置を提供する。【解決手段】 サセプタ106上にイオンエネルギー検出器150を設けて、ダミーウェハW上に生じるイオンを、ダミーウェハWの貫通孔Waを介してイオンエネルギー検出器150内に導入する。そのイオンが、グリッド152を通過してセンサ154に到達すると、そのセンサ154に接続されている電流計166によりイオンの電流値が測定される。この電流値と、セカンドグリッド152bに印加されている可変直流電力の電圧等とから、センサ154におけるイオンエネルギーを時間分解的に求め、それを演算手段により各時間ごとのダミーウェハW上のイオンエネルギーに変換した後、合成することによりダミーウェハW上のイオンエネルギーを求めることができる。
請求項（抜粋）：
測定対象物に対して所定距離を置いた位置に配されるコレクタ手段を少なくとも備えた測定系により、RF電力の電界の影響を受ける測定対象物上のイオンエネルギーを測定するイオンエネルギー測定方法であって:前記測定対象物を通過したイオンのイオンエネルギーを前記コレクタ手段により時間分解的に測定する第1ステップと、前記各測定時点について、前記測定値に基づいて前記測定対象物上でのイオンエネルギーを求める第2ステップと、前記各測定時点でのイオンエネルギーを合成して、前記測定対象物上でのイオンエネルギーを求める第3ステップとを少なくとも含むことを特徴とする、イオンエネルギー測定方法。
IPC (3件)：
H01J 49/44
, G01N 27/62
, H01L 21/302
H01J 49/44
, G01N 27/62 E
, H01L 21/302 Z
