内部欠陥検査方法及び内部欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-254306
公開番号（公開出願番号）：特開2008-076159
出願日： 2006年09月20日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】欠陥検出感度が高く、電磁波照射方向の欠陥寸法も検出できる方法及び装置を提供すること。【解決手段】検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を該検査対象部材に照射する照射工程と、前記検査対象部材を透過した前記テラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形を検出する検出工程と、を有し、前記電場振幅時間分解波形の位相情報及び或いは振幅情報から前記検査対象部材の内部欠陥を検査することを特徴とする内部欠陥検査方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象部材を透過する波長のテラヘルツパルス光を該検査対象部材に照射する照射工程と、前記検査対象部材を透過した前記テラヘルツパルス光の電場振幅時間分解波形を検出する検出工程と、を有し、前記電場振幅時間分解波形の位相情報及び或いは振幅情報から前記検査対象部材の内部欠陥を検査することを特徴とする内部欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01N 21/35

FI (2件)：

G01N21/88 Z , G01N21/35 Z

Fターム (30件)：

2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB07 , 2G051BB15 , 2G051BB20 , 2G051CA02 , 2G051CB02 , 2G051DA05 , 2G051EA04 , 2G051EC04 , 2G059BB08 , 2G059CC12 , 2G059DD12 , 2G059EE01 , 2G059FF08 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ01 , 2G059JJ03 , 2G059JJ11 , 2G059JJ14 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059KK01 , 2G059MM08 , 2G059NN01

引用特許：

出願人引用 (1件)

細長部材の欠陥検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-277958 出願人：独立行政法人理化学研究所

前のページに戻る