特許
J-GLOBAL ID：200903001443178955

エッチング液、薄膜トランジスタ・アレイ基板、薄膜トランジスタ・アレイ基板の製造方法および表示装置

発明者：
正光 義則

正光 義則 について

, 
師岡 光雄

師岡 光雄 について

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吉村 裕介

吉村 裕介 について

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廣森 正

廣森 正 について


出願人/特許権者：
インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション

インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション について


代理人 (4件)： 間山 進也 ,  坂口 博 ,  市位 嘉宏 ,  上野 剛史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-230794
公開番号（公開出願番号）：特開2004-071920
出願日： 2002年08月08日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：
【課題】テーパ形状を有する導電配線を容易に精度よく高密度で形成すること。【解決手段】不動態化する金属からなる第1層と、前記第1層上に設けられる第2層とからなる導電膜をエッチングするためのエッチング水溶液であって、硝酸と、フッ化水素酸と、酢酸イオン源となる化合物とを含み、前記第1層を不動態化させるエッチング液とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
不動態化する金属からなる第1層と、前記第1層上に設けられる第2層とからなる導電膜をエッチングするためのエッチング水溶液であって、 硝酸と、フッ化水素酸と、酢酸イオン源となる化合物とを含み、 前記第1層を不動態化させるエッチング液。
IPC (9件)：
H01L21/306 ,  C23F1/44 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 ,  G09F9/35 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L29/786 ,  H05B33/14
FI (17件)：
H01L21/306 Q ,  C23F1/44 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/30 338 ,  G09F9/30 365Z ,  G09F9/35 ,  H01L21/28 E ,  H01L21/28 301R ,  H05B33/14 A ,  H01L21/88 F ,  H01L29/78 612C ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 617K ,  H01L21/88 N ,  H01L21/88 R ,  H01L29/78 616U
Fターム (141件)：
2H092GA29 ,  2H092GA51 ,  2H092HA06 ,  2H092JA24 ,  2H092JA46 ,  2H092KA18 ,  2H092MA18 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007GA00 ,  4K057WA10 ,  4K057WA11 ,  4K057WB02 ,  4K057WB05 ,  4K057WB08 ,  4K057WB15 ,  4K057WE02 ,  4K057WE07 ,  4K057WE12 ,  4K057WG03 ,  4K057WM04 ,  4K057WN01 ,  4M104AA01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD08 ,  4M104DD09 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD19 ,  4M104DD20 ,  4M104DD34 ,  4M104DD37 ,  4M104DD64 ,  4M104FF08 ,  4M104FF13 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG20 ,  4M104HH13 ,  4M104HH14 ,  5C094AA05 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094EA04 ,  5C094EA07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH20 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK04 ,  5F033KK05 ,  5F033KK08 ,  5F033KK09 ,  5F033KK17 ,  5F033KK18 ,  5F033KK20 ,  5F033MM08 ,  5F033MM19 ,  5F033NN03 ,  5F033NN12 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ34 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033VV15 ,  5F033WW02 ,  5F033WW04 ,  5F033XX02 ,  5F033XX03 ,  5F033XX10 ,  5F033XX14 ,  5F033XX24 ,  5F043AA27 ,  5F043BB15 ,  5F043DD13 ,  5F043FF03 ,  5F043GG02 ,  5F110AA04 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE15 ,  5F110EE23 ,  5F110EE37 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK22 ,  5F110HK33 ,  5F110HL07 ,  5F110HL12 ,  5F110HM03 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5F110QQ05
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (2件)

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