特許

J-GLOBAL ID：200903001458755460

走査形電子顕微鏡

発明者： 戸所 秀男 ,  江角 真 ,  宇佐見 康継
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-000222
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200579
出願日： 1999年01月04日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：

【要約】【課題】 コンタクトホールの底や内部配線を観察できるようにする。【解決手段】 コンタクトホール102の観察では、絶縁物101の表面に正の帯電106を作り、この電界で二次電子104をホール内から吸引する。絶縁物に埋没した配線では、電子ビームを試料内に進入させ、配線の有無を表面の帯電量の変化として映し出し、これを観察する。具体的には、観察前に観察時の加速電圧と異なり、積極的に正または負の帯電を起こす加速電圧で試料表面を一定時間照射し、そののち観察に適した加速電圧に戻して観察する。

請求項（抜粋）：

加速した電子ビームで試料を走査し、試料から発生した二次電子又は反射電子あるいはその両者を検出して像を形成する走査形電子顕微鏡において、第1の加速電圧で試料に電子照射を行った後、前記第1の加速電圧と異なる第2の加速電圧で走査像観察を行う機能を有することを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/248

FI (2件)：

H01J 37/28 B ,  H01J 37/248 B

Fターム (6件)：

5C030BB17 ,  5C030BC04 ,  5C030BC06 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 電子線装置およびその観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-335981   出願人：株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
• 走査電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-228833   出願人：株式会社日立製作所
• 走査型電子顕微鏡による計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-150128   出願人：株式会社日立製作所
• キャプスタンスクリュー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-006036   出願人：株式会社河合楽器製作所
• 電子ビーム検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-008009   出願人：株式会社日立製作所