特許

J-GLOBAL ID：200903001461023934

輪郭振動子、輪郭振動子の調整方法

発明者： 山田 明法
出願人/特許権者： エプソントヨコム株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-290450
公開番号（公開出願番号）：特開2008-245243
出願日： 2007年11月08日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：

【課題】所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子と、この輪郭振動子の調整方法を提供する。【解決手段】輪郭振動子10は、水晶基板のカット角φがIRE標準のYXltφ/θで表される四角形の平板からなる振動体20と、振動体20の表裏両面に設けられ共振周波数を律する励振電極30,31と、励振電極30,31の表面に設けられ温度特性を調整する温特調整膜41,42と、を備える。振動体20を形成した後、振動体20の表裏両面に励振電極30,31を形成し、励振電極30,31の厚さまたは/及び面積を変更して共振周波数を調整した後、温特調整膜41,42を形成し温度特性を調整し、所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子を提供することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

水晶を用いた平面視形状が四角形の平板からなる振動体と、 前記振動体の表裏両面に設けられ共振周波数を律する励振電極と、 前記励振電極の少なくとも一つの表面に設けられ温度特性を調整する温特調整膜と、 を備えることを特徴とする輪郭振動子。

IPC (6件)：

H03H 9/19 ,  H03H 3/02 ,  H03H 3/04 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/19 C ,  H03H3/02 C ,  H03H3/04 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z

Fターム (14件)：

5J108AA02 ,  5J108AA04 ,  5J108BB03 ,  5J108CC04 ,  5J108DD03 ,  5J108DD09 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108HH04 ,  5J108KK02 ,  5J108KK05 ,  5J108MM14 ,  5J108NA02 ,  5J108NB02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 振動子と振動子ユニットと発振器と電子機器とそれらの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-153967   出願人：有限会社ピエデック技術研究所