振動子と振動子ユニットと発振器と電子機器とそれらの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-153967
公開番号（公開出願番号）：特開2005-094733
出願日： 2004年04月21日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：

【課題】輪郭振動子の電気機械変換効率が悪く、等価直列抵抗R1が大きく、品質係数Q値が小さくなるという点である。同時に、前記振動子を用いた振動子ユニットとその振動子ユニットを搭載した発振器の特性が良くない点である。【解決手段】少なくとも振動部と支持部とを具えて構成される輪郭振動子で、振動部と支持部とを具えて構成される輪郭振動子はエッチング法により一体に形成され、振動部の上下面、又は振動部の側面と対抗する面には、極性の異なる少なくとも一対の電極が対抗して配置されていて、前記振動子は輪郭モードで振動する輪郭振動子であると共に、前記輪郭振動子からなる振動子ユニットと発振器とその発振器を搭載した電子機器と、それらの製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

振動部と支持部とを備えて構成される輪郭振動子で、前記輪郭振動子はエッチング法により一体に形成され、前記振動部に溝が設けられ、前記溝とその溝に対抗して極性の異なる電極が配置されていることを特徴とする振動子。

IPC (4件)：

H03H9/215 , H03B5/32 , H03H3/04 , H03H9/19

FI (4件)：

H03H9/215 , H03B5/32 J , H03H3/04 B , H03H9/19 C

Fターム (27件)：

5J079AA02 , 5J079AA04 , 5J079BA31 , 5J079BA39 , 5J079BA41 , 5J079FB03 , 5J079GA09 , 5J079HA22 , 5J079KA05 , 5J108AA02 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108CC09 , 5J108CC11 , 5J108DD03 , 5J108DD05 , 5J108DD07 , 5J108DD08 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108FF01 , 5J108JJ04 , 5J108KK01 , 5J108KK05 , 5J108NA03 , 5J108NA04 , 5J108NB03

引用特許：

出願人引用 (8件)

再表00/044092(国際公開第00/44092)
PLL発振器及びPLL発振器の製造方法
公報種別：再公表公報出願番号：JP1997000019 出願人：セイコーエプソン株式会社
特開昭56-65517

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