特許
J-GLOBAL ID：200903001464152891
ウェハおよびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 戸津 洋介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-333549
公開番号（公開出願番号）：特開2008-142842
出願日： 2006年12月11日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】主面のうねりが低減されかつ破損しにくいウェハ及びその製造方法を提供する。【解決手段】固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材Wのうち少なくとも一方を、所定の軸線Xに交差する移動方向Zに移動させつつ、固定砥粒ワイヤ工具及び被加工部材Wのうち少なくとも一方を揺動させることによって、移動方向Zに沿う被加工部材の切断加工面Wx上において一方向に湾曲した曲線Cを描く複数の条痕を形成しながら、被加工部材Wを切断し、曲線の一端Va,Vbと曲線Cの頂点Uとを結ぶ直線Ma,Mbが曲線Cの両端を結ぶ基準線Yに対してなす条痕の角度γa,γbを1°以上とする、ウェハの製造方法。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
表面に砥粒を固着したワイヤを複数の主軸ローラに巻架した固定砥粒ワイヤ工具によって、所定の軸線に沿って延びる被加工部材を切断することによってウェハを製造する方法であって、
前記固定砥粒ワイヤ工具及び前記被加工部材のうち少なくとも一方を、前記所定の軸線に交差する移動方向に移動させつつ、
前記固定砥粒ワイヤ工具及び前記被加工部材のうち少なくとも一方を揺動させることによって、前記移動方向に沿う前記被加工部材の切断加工面上において一方向に湾曲した曲線を描く複数の条痕を形成しながら、前記被加工部材を切断し、
前記曲線の一端と前記曲線の頂点とを結ぶ直線が前記曲線の両端を結ぶ基準線に対してなす前記条痕の角度を1°以上とする、ウェハの製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B24B27/06 F
, B28D5/04 C
, B24B27/06 H
3C058AA05
, 3C058AA11
, 3C058AB01
, 3C058CA05
, 3C058CA06
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058DA17
, 3C069AA01
, 3C069BA06
, 3C069BB01
, 3C069BC01
, 3C069CA03
, 3C069EA02
, 3C069EA05
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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