ワイヤソーおよびインゴット切断方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：安倍逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094541
公開番号（公開出願番号）：特開平10-264143
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】切断時間が短縮され、かつ、切断されたウェーハの表面平坦度が良好なワイヤソーおよびこれを用いたインゴット切断方法を提供する。【解決手段】インゴット29の切断時には、制御部15の揺動方向切換手段15aにより、常にワイヤ列11の走行方向が、インゴット29の切断残部の頂上部29aから麓部29bへ向かう。これで非研削側の法面とワイヤ列11の間に隙間Sができ、切断時には砥液供給装置12からワイヤ列11上へ供給した砥液a1の余剰分a1′が、頂上部29aで削られ隙間Sに残る。このため、次に非研削側の法面を削るとき、揺動手段14で揺動角度を変更したワイヤ列11に、隙間S内の砥液a1′が十分に付着するので、短時間でインゴット29を切断でき、ウェーハの表面平坦度も良好になる。

請求項（抜粋）：

砥液を供給しながらワイヤ列を往復動させることにより、円柱状のインゴットをその軸線に対して略垂直に切断するワイヤソーにおいて、上記インゴットの切断面内で、そのインゴットの略中心部を支点として、上記インゴットおよび上記ワイヤ列を相対的に揺動させる揺動手段と、上記インゴット切断時の上記ワイヤ列の走行方向を、常時、上記インゴットの切断縁が略円弧状である切断残部の頂上部から麓部へ方向づける揺動方向切換手段とを有するワイヤソー。

IPC (2件)：

B28D 5/04 , H01L 21/304 311

FI (2件)：

B28D 5/04 C , H01L 21/304 311 W

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-182760
特開昭58-155164
特開昭56-076366

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