特許
J-GLOBAL ID：200903001546736433
ウエーハの切削方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-007849
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203540
出願日： 2004年01月15日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】 切削ブレードによって形成された切削溝を検出することにより、ウエーハは完全切断されたか否か判定しつつ切削するウエーハの切削方法を提供する。【解決手段】 ダイシングテープに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを切削ブレードによって切削するウエーハの切削方法であって、ウエーハをチャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、ウエーハの切削すべき領域に切削ブレードをダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け切削ブレードがウエーハの外周縁を越えてダイシングフレームに達しない範囲で切削ブレードとチャックテーブルを相対移動しウエーハを切削する切削工程と、ウエーハとダイシングフレームとの間に露出しているダイシングテープを撮像手段の撮像領域に位置付け撮像手段によってダイシングテープを撮像してダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程とを含む。【選択図】 図13
請求項（抜粋）：
ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに切削加工を施す切削ブレードを備えた切削手段と、切削すべき領域を検出する撮像手段とを具備する切削装置を用い、環状のダイシングフレームに装着されたダイシングテープに貼着したウエーハを該切削手段によって切削するウエーハの切削方法であって、
該ダイシングフレームにダイシングテープを介して支持されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハの切削すべき領域を検出するアライメント工程と、
該アライメント工程において検出されたウエーハの切削すべき領域に該切削ブレードを該ダイシングテープに達する切り込み深さをもって位置付け、該切削ブレードが該ウエーハの外周縁を越えて該ダイシングフレームに達しない範囲で該切削ブレードと該チャックテーブルを相対移動し、ウエーハを切削する切削工程と、
該チャックテーブルに保持されたウエーハと該フレームとの間に露出している該ダイシングテープを該撮像手段の撮像領域に位置付け、該撮像手段によって該ダイシングテープを撮像して、該ダイシングテープに切削溝が形成されているか否かを検出する切削溝検出工程と、を含み、
該切削溝検出工程において、該ダイシングテープに切削溝が検出された場合には該ウエーハが切断されていると判定し、該ダイシングテープに切削溝が検出されない場合には該ウエーハが切断されていないと判定する、
ことを特徴とするウエーハの切削方法。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/78 C
, H01L21/78 F
