特許
J-GLOBAL ID：200903001557012321
マイクロ構造エレメント
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
矢野 敏雄
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-541036
公開番号（公開出願番号）：特表2004-532742
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
本発明によれば、マイクロ構造エレメント特にカバーキャップでカバーされた、マイクロマシニングによるセンサエレメントが提案されており、この場合、特にシリコン層(14)から構造化された少なくとも1つのマイクロ構造体(18)がガラス体(51)によってカバーキャップ閉鎖されている。さらにまた、マイクロ構造体(18)を被覆する、少なくともガラス体(51)の領域が、マイクロ構造体(18)に向いた側に導電性の被覆部(50)を備えている。
請求項（抜粋）：
マイクロ構造エレメント、殊にカバーされた、マイクロマシニングによるセンサエレメントであって、ガラス体によってカバーされた少なくとも1つのマイクロ構造体を備えている形式のものにおいて、
少なくともマイクロ構造体(18)を覆う、ガラス体(51)の領域が、そのマイクロ構造体(18)に向いた側で、導電性の被覆部(50)を備えていることを特徴とする、マイクロ構造エレメント。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B81B3/00
, H01L29/84 Z
, G01P15/08 P
4M112AA02
, 4M112BA00
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112CA23
, 4M112CA35
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA05
, 4M112DA09
, 4M112DA18
, 4M112DA20
, 4M112EA02
, 4M112EA04
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA08
, 4M112FA09
, 4M112GA01
