特許

J-GLOBAL ID：200903001613602463

露光装置、露光方法、光ディスク装置、及び記録及び/又は再生方法

発明者： 今西 慎悟
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-023190
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】 ニアフィールド領域において高精度でギャップ長の制御をする。【解決手段】 露光装置は、露光用レーザ光を出射する露光用光源11と、露光用レーザ光と異なる波長とされたギャップ長制御用レーザ光を出射するギャップ長制御用光源16と、ギャップ長制御用レーザ光を、集光レンズ14及びSIL15に入射させるための集光レンズ17、コリメータレンズ18及びダイクロイックミラー12と、SIL15の出射面15bにおいて反射されたギャップ長制御用レーザ光の戻り光の光強度を検出する受光素子22とを備える。そして、露光装置は、受光素子22の検出結果に基づいて、SIL15と被照射体100との間の間隔を制御する。

請求項（抜粋）：

被露光体に対向され、当該被露光体の近接場領域に配置される収束レンズを備え、上記収束レンズにより、上記被露光体に露光用レーザ光を集光して上記被露光体を露光する露光装置において、上記露光用レーザ光を出射する露光用光源と、上記露光用レーザ光と異なる波長とされた間隔制御用レーザ光を出射する間隔制御用光源と、上記間隔制御用レーザ光を、上記収束レンズに入射させる入射手段と、上記収束レンズの上記被露光体に対向される対向面において反射された上記間隔制御用レーザ光の戻り光の光強度を検出する光強度検出手段と、上記光強度検出手段の検出結果に基づいて、上記収束レンズと上記被露光体との間の間隔を制御する間隔制御手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (4件)：

G11B 7/09 ,  G03F 7/20 505 ,  G11B 7/135 ,  G11B 7/26

FI (4件)：

G11B 7/09 B ,  G03F 7/20 505 ,  G11B 7/135 Z ,  G11B 7/26

Fターム (30件)：

2H097AA03 ,  2H097AB07 ,  2H097BA01 ,  2H097CA17 ,  2H097FA03 ,  2H097LA20 ,  5D118AA12 ,  5D118BA01 ,  5D118BB09 ,  5D118BF03 ,  5D118CA11 ,  5D118CC06 ,  5D118CC12 ,  5D118CD02 ,  5D118CG03 ,  5D118CG07 ,  5D118DC03 ,  5D119AA11 ,  5D119AA22 ,  5D119AA28 ,  5D119BA01 ,  5D119BB09 ,  5D119EA03 ,  5D119EC43 ,  5D119EC47 ,  5D119FA13 ,  5D119JA44 ,  5D121BB01 ,  5D121BB21 ,  5D121JJ09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 記録装置、記録方法および記録媒体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-097964   出願人：松下電器産業株式会社
• 原盤露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-323745   出願人：日立マクセル株式会社