特許
J-GLOBAL ID：200903001636115462
クリーニング終点検出装置およびクリーニング終点検出方法
発明者：
,
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336432
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152341
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：
【要約】【課題】 反応室1の内壁等への付着物を除去するクリーニング処理の終点を精度よく検出できるクリーニング終点検出方法を提供する。【解決手段】 クリーニング処理中に付着物の一部とクリーニングガスとの反応生成物ガスが気相中で反応してできたクラスター雲や、クラスター雲が生成された結果、付着物の残りの一部が付着力が弱くなって内壁から剥離した剥離パーティクル(剥離パーティクルのパーティクルサイズは、クラスター雲のパーティクルサイズより大きい)を含む反応室1に、レーザ光4を照射し、クラスター雲および剥離パーティクル2を、レーザ光散乱法で計測し、付着物がなくなってクラスター雲および剥離パーティクルが観測されなくなった時点をクリーニング処理の終点と判断する。
請求項（抜粋）：
反応室の内壁への付着物の除去を、前記反応室内にクリーニングガスを導入し、前記反応室内に前記付着物の一部と前記クリーニングガスとの反応によるクラスター雲を生成させると共に、前記付着物の残りの一部を前記内壁から剥離パーティクルとして剥離させ、前記クラスター雲および前記剥離パーティクルを前記クリーニングガスと共に前記反応室から排気することにより、行なう、クリーニング処理の終点を検出するクリーニング終点検出装置において、前記反応室内の前記クラスター雲および前記剥離パーティクルにレーザ光を照射し、前記クラスター雲および前記剥離パーティクルによる散乱レーザ光を生成させる照射手段と、前記散乱レーザ光を二次元画像情報として計測する計測手段と、前記二次元画像情報を基に、前記クリーニング処理の終点を判断する判断手段とを有することを特徴とするクリーニング終点検出装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
C23C 16/44 J
, H01L 21/205
, H01L 21/302 N
4K030DA06
, 4K030FA10
, 4K030HA12
, 4K030KA08
, 4K030KA39
, 5F004AA15
, 5F004BD04
, 5F004CB09
, 5F004CB15
, 5F004DA01
, 5F004DA17
, 5F045AA03
, 5F045EB06
, 5F045GB15
