特許
J-GLOBAL ID：200903001668484273

波長可変光フィルタ

発明者：
與田 光宏

與田 光宏 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (4件)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192643
公開番号（公開出願番号）：特開2005-031115
出願日： 2003年07月07日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】低電圧で可動板を駆動することができ、また可動板の変位量を大きくすることのできる波長可変光フィルタを提供する。【解決手段】固定鏡と、該固定鏡に対向配置される可動鏡と、該可動鏡を駆動させる駆動板13と、該駆動板13を保持する外周支持部18とがベース層16の上に設けられ、前記駆動板13に設けられた電極と、前記ベース層16に設けられた電極間に電圧を加えることにより、前記可動鏡が変位する波長可変光フィルタであって、可動鏡と外周支持部18との間に1つ以上の駆動板13を設け、駆動板13が静電力により変位するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
固定鏡と、該固定鏡に対向配置される可動鏡と、該可動鏡を駆動させる駆動板と、該駆動板を保持する外周支持部とがベース層の上に設けられ、前記駆動板に設けられた電極と、前記ベース層に設けられた電極間に電圧を加えることにより、前記可動鏡が変位する波長可変光フィルタであって、 前記可動鏡と前記外周支持部との間に1つ以上の前記駆動板を設け、前記駆動板が静電力により変位することを特徴とする波長可変光フィルタ。
IPC (2件)：
G02B26/00 ,  B81B3/00
FI (2件)：
G02B26/00 ,  B81B3/00
Fターム (5件)：
2H041AA21 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08
引用特許：
審査官引用 (4件)
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