特許
J-GLOBAL ID:200903012268928956
光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小栗 昌平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-377046
公開番号(公開出願番号):特開2003-177336
出願日: 2001年12月11日
公開日(公表日): 2003年06月27日
要約:
【要約】【課題】 素子自体の光吸収が少なく、高速駆動が可能な高出力、長寿命な光変調素子及び光変調素子アレイ並びにそれを用いた露光装置を提供する。【解決手段】 静電気力によって可動薄膜27を平面基板23に対して変位させ、可動薄膜27を透過する光量を変化させる光変調素子100に対し、可動薄膜27を矩形状に形成して長手方向両端で支持すると共に、可動薄膜27の長手方向中央部に平面電極を有しない可動薄膜側非電極部41を形成し、平面基板23に、可動薄膜側非電極部41と対面する位置に平面電極を有しない基板側非電極部43を形成した。
請求項(抜粋):
平面基板に間隔を有して可動薄膜を対向配置すると共に、前記基板と前記可動薄膜の双方に平面電極を設け、前記各平面電極への電圧印加により発生する静電気力によって前記可動薄膜を前記平面基板に対して変位させ、前記可動薄膜を透過する光量を変化させる透過型の光変調素子であって、前記可動薄膜は、矩形状に形成され長手方向両端で支持されると共に、前記可動薄膜の長手方向中央部に前記平面電極を有しない可動薄膜側非電極部が形成され、前記平面基板は、前記可動薄膜側非電極部と対面する位置に前記平面電極を有しない基板側非電極部が形成されていることを特徴とする光変調素子。
IPC (8件):
G02B 26/08
, B41J 2/445
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
, H04N 1/036
, H04N 1/04
, H04N 1/113
FI (9件):
G02B 26/08 A
, G03F 7/20 505
, G03F 7/20 521
, H04N 1/036 Z
, H01L 21/30 515 D
, H01L 21/30 516 D
, B41J 3/21 V
, H04N 1/04 104 Z
, H04N 1/04 B
Fターム (40件):
2C162AE28
, 2C162AE40
, 2C162AE47
, 2C162FA06
, 2C162FA09
, 2C162FA10
, 2H041AA13
, 2H041AB40
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
, 2H041AZ05
, 2H041AZ08
, 2H097AA03
, 2H097BB01
, 2H097CA12
, 2H097CA17
, 2H097LA10
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA02
, 5C051DB02
, 5C051DB04
, 5C051DB06
, 5C051DB07
, 5C051DB22
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C051DE05
, 5C072AA03
, 5C072BA03
, 5C072HA02
, 5C072HA11
, 5C072HB15
, 5C072XA04
, 5F046BA05
, 5F046CA03
, 5F046CB19
, 5F046CB23
, 5F046CB27
引用特許:
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