特許
J-GLOBAL ID:200903001750876244

光ヘッド光学系の調整方法及び調整装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石原 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-082222
公開番号(公開出願番号):特開平11-283268
出願日: 1998年03月27日
公開日(公表日): 1999年10月15日
要約:
【要約】【課題】 光ヘッドの光学系の収差検出精度が高く、かつ検出視野を広くすることができ、その結果光ヘッド光学系の調整を精度高く、能率的に行なうことができる光ヘッド光学系の調整方法を提供する。【解決手段】 光ヘッド1からの光ビームの集光位置に配した回折格子片8により、光ビームに干渉縞を生成し、前記干渉縞を観測光学系70によって撮像装置15に投影し、この投影画像に基づいて光ヘッド1の光学系を調整する。
請求項(抜粋):
光ヘッドからの光ビームの集光位置に配した回折格子片により、光ビームに干渉縞を生成し、前記干渉縞を観測光学系によって撮像装置に投影し、この投影画像に基づいて、光ヘッドの光学系を調整することを特徴とする光ヘッド光学系の調整方法。
IPC (2件):
G11B 7/135 ,  G02B 7/00
FI (2件):
G11B 7/135 A ,  G02B 7/00 H
引用特許:
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る