特許
J-GLOBAL ID:200903001773406849

マイグレーション測定方法および測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 曽々木 太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-053623
公開番号(公開出願番号):特開2003-254923
出願日: 2002年02月28日
公開日(公表日): 2003年09月10日
要約:
【要約】【課題】 マイグレーションの発生機構のより精密な解析を可能とし、これによってマイグレーションの発生時期をより精確に予測することを可能としてなるマイグレーション測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】 交流インピーダンス法によりマイグレーションMを測定するものであって、電極1,2間に微小交流が重畳された直流を印加する重畳信号印加部10と、電流測定部30と、電極1、2間のインピーダンスを測定するインピーダンス測定部20と、前記インピーダンス測定部20による測定値を記録してマイグレーションMを測定する測定データ記録処理部40とを備え、前記測定データ記録処理部40が、インピーダンス測定値から界面容量Cおよび電荷移動抵抗Rctを算出し、前記算出された界面容量Cおよび電荷移動抵抗Rctの変化に基づいて、マイグレーションMを測定するものである。
請求項(抜粋):
交流インピーダンス法を用いたマイグレーション測定方法であって、電極間に微小交流が重畳された直流を印加してそのインピーダンスを測定し、前記インピーダンス測定値から界面容量を算出し、前記算出された界面容量の変化に基づいてマイグレーションを測定することを特徴とするマイグレーション測定方法。
IPC (5件):
G01N 27/02 ,  G01N 27/04 ,  G01N 27/22 ,  G01R 27/02 ,  G01R 31/02
FI (5件):
G01N 27/02 Z ,  G01N 27/04 Z ,  G01N 27/22 B ,  G01R 27/02 A ,  G01R 31/02
Fターム (33件):
2G014AA03 ,  2G014AA15 ,  2G014AB55 ,  2G014AB59 ,  2G028AA01 ,  2G028AA02 ,  2G028CG08 ,  2G028DH03 ,  2G028DH05 ,  2G028DH11 ,  2G028DH14 ,  2G028DH16 ,  2G028FK01 ,  2G028FK02 ,  2G028GL09 ,  2G028LR07 ,  2G060AA09 ,  2G060AD04 ,  2G060AE40 ,  2G060AF07 ,  2G060AF10 ,  2G060AG01 ,  2G060AG08 ,  2G060AG11 ,  2G060GA01 ,  2G060HA01 ,  2G060HA02 ,  2G060HC07 ,  2G060HC10 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060HC21 ,  2G060HE01
引用特許:
審査官引用 (2件)

前のページに戻る