特許
J-GLOBAL ID：200903001774554698

MEMSデバイス用のバネ構造体

発明者：
ペーター、ヘー.ステーネケン

ペーター、ヘー.ステーネケン について

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ヨーゼフ、トーマス、マルティヌス、ファン、ベーク

ヨーゼフ、トーマス、マルティヌス、ファン、ベーク について

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テオ、レイクス

テオ、レイクス について


出願人/特許権者：
コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ

コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ について


代理人 (6件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康 ,  高橋 佳大
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-538568
公開番号（公開出願番号）：特表2008-517784
出願日： 2005年10月24日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：
MEMデバイスは、可動要素(30)と、可動要素を移動させるための一対の電極(e1,e2)と、電極のプルイン(引き込み)に対する更なる抵抗を与えるために他のそれぞれの電極に対して弾性的に結合された独立可動部(e3)を有する一つの電極とを有している。これは、高い解放電圧Vrelを可能にし、従って、スティクションの危険を低減することができる。また、Vrelに対するVPIの比率も減少させることができ、そのため、可動要素の移動のために幅広い範囲の電圧を利用できる。これにより、高速切り換えが可能になる。独立可動部の面積は他の電極よりも小さく、また、弾性カップリングのバネ定数はフレキシブルな支持体のそれよりも大きい。あるいは、可動要素は、それが基板と接触するときにプルインに対する更なる抵抗を与えるために基板に対して弾性的に結合され且つ基板に向けて突出する可動スタンプ部分を有することができる。
請求項（抜粋）：
基板上の第1の電極と、第2の電極とを備え、前記第2の電極は、可動要素の一部であり、可動要素の変形可能部分の弾性変形によって第1の位置と少なくとも十分に近接した第2の位置との間で前記第1の電極に向かって及び前記第1の電極から移動可能であるとともに、その第1の位置において所定の間隙だけ前記第1の電極から離間される、マイクロ電気機械デバイスであって、 前記可動要素は、弾性カップリングにより前記可動要素の主要部に対して結合される独立可動部を備え、それにより、前記弾性カップリングは、前記第2の電極がその第2の位置にあるときに前記可動要素に対して前記第1の電極から離隔する方向において力を及ぼすことを特徴とするマイクロ電気機械デバイス。
IPC (2件)：
B81B 3/00 ,  H01P 1/12
FI (2件)：
B81B3/00 ,  H01P1/12
Fターム (13件)：
3C081AA02 ,  3C081BA22 ,  3C081BA44 ,  3C081BA46 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081DA11 ,  3C081EA21 ,  3C081EA23 ,  5J012AA05
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 英国特許出願公開公報第GB-A-2,353,410号
  • 米国特許出願公開公報第US2002/0149071号
  • 米国特許第US6,418,006号公報
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審査官引用 (1件)

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