荷電粒子線露光装置およびデバイス製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-124727
公開番号（公開出願番号）：特開2002-015991
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：

【要約】【課題】荷電粒子線露光装置の性能あるいはデバイス製造の効率を低下させることなく、電子光学系に含まれる基板の変形や破損を未然に防止する。【解決手段】補正電子光学系3は、電子レンズを構成するための開口が形成された基板を有する。給排気ポンプ51〜56による本体カバー80内の圧力調整によって生じ得る電極板の表裏の圧力差を緩和するために、開閉度を調整可能なバルブ14を備え、これを差圧センサ14の出力に基づいて制御する。圧力センサ14は光学的なセンサに置き換えることもできる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線露光装置であって、荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源が発生する荷電粒子線をデバイス材料に照射するための、該荷電粒子線を通過させる開口が形成された基板を含む、電子光学系と、前記荷電粒子線源及び前記電子光学系を覆うカバーと、前記カバーの内部空間の圧力を調整する調整機構と、前記内部空間の圧力変化に伴う前記基板の表裏の圧力差を緩和する緩和機構と、を有することを特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (7件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01J 37/04 , H01J 37/10 , H01J 37/18 , H01J 37/305

FI (7件)：

G03F 7/20 504 , G03F 7/20 521 , H01J 37/04 Z , H01J 37/10 , H01J 37/18 , H01J 37/305 B , H01L 21/30 541 G

Fターム (17件)：

2H097BA02 , 2H097CA16 , 2H097GB01 , 2H097LA10 , 5C030BB17 , 5C033KK03 , 5C034BB02 , 5F056AA07 , 5F056AA27 , 5F056AA33 , 5F056CB30 , 5F056CB31 , 5F056EA03 , 5F056EA04 , 5F056EA05 , 5F056EA11 , 5F056EA16

引用特許：

審査官引用 (1件)

荷電粒子ビーム露光装置及びそのクリーニング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-138755 出願人：富士通株式会社

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