異方性シートおよび配線基板

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-316512
公開番号（公開出願番号）：特開平9-160064
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】高い信頼性をもって半導体素子を基板上に精度よく実装するための異方性シートを提供する。【解決手段】ポリシラン部分及びポリシロキサン部分の少なくとも一方を含み、電気的特性及び磁気的特性の少なくとも1つの特性が異なる貫通領域を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ポリシラン部分およびポリシロキサン部分の少なくとも一方を含み、電気的特性および磁気的特性の少なくとも1つの特性が異なる貫通領域を有することを特徴とする異方性シート。

IPC (4件)：

G02F 1/1345 , H05K 1/14 , G03F 7/075 511 , H01L 21/321

FI (4件)：

G02F 1/1345 , H05K 1/14 J , G03F 7/075 511 , H01L 21/92 621 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

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