非発光過程走査プローブ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上島淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-216985
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046715
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】半導体などの固体の表面のどの部位に光または電子線が照射されたときに非発光プロセスが生じて非発光になるかという、固体の表面における非発光領域の局所的な分布を得る。【解決手段】固体表面の局所的領域に光または電子線を断続的に照射するプローブと、プローブを固体表面に近づけて走査する走査手段と、プローブから断続的に照射される光または電子線により固体表面に生成される非発光プロセスに起因して生ずる弾性波を検出する検出手段と、検出手段によって弾性波が検出された際に、プローブから断続的に光または電子線が照射された固体表面の領域を非発光領域として出力する出力手段とを有する。

請求項（抜粋）：

固体表面の局所的領域に光または電子線を断続的に照射するプローブと、前記プローブを前記固体表面に近づけて走査する走査手段と、前記プローブから断続的に照射される光または電子線により前記固体表面に生成される非発光プロセスに起因して生ずる弾性波を検出する検出手段と、前記検出手段によって弾性波が検出された際に、前記プローブから断続的に光または電子線が照射された前記固体表面の領域を非発光領域として出力する出力手段とを有する非発光過程走査プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 , G01N 29/20 501 , H01J 37/00

FI (3件)：

G01N 37/00 H , G01N 29/20 501 , H01J 37/00

Fターム (7件)：

2G047AA05 , 2G047AB04 , 2G047BA05 , 2G047BC03 , 2G047CA04 , 2G047CA07 , 2G047EA00

引用特許：

審査官引用 (7件)

特公昭63-026329
走査型分析顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-245787 出願人：富士写真フイルム株式会社
特開昭57-022733

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