特許
J-GLOBAL ID：200903001942198169
電子線量の測定方法および電子線照射処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-291545
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221898
出願日： 2000年09月26日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 電子線管から出力される電子線量を正確に測定するとともに、被処理物に照射される電子線量を一定に制御すること。【解決手段】 EB管1の窓1dの外側近傍に電流検出部11aと、電流測定部11bからなる電子線量測定器11を設ける。電流検出部11aは導体又は半導体から構成され表面に絶縁物の被膜が所定の厚さにコーティングされている。EB管1の窓1dから出射された電子線は、その一部の電子が電流検出部11aにキャッチされ、電流検出部11aに電流を発生させる。発生した電流は、電流測定部11bから制御部12に送られ、制御部12は、例えばフィラメント電源3を制御して、EB管1から出力される電子線量が一定になるように制御する。電流検出部11aとして絶縁被膜がコーティングされた導体又は半導体を用いているので、電流検出部11a近傍の浮遊電荷に影響されることなく、EB管1から出力される電子線量を正確に測定することができる。
請求項（抜粋）：
窓を備えた電子線管から放射される電子線量を測定する測定方法であって、上記電子線管の窓の外側に、導電体又は半導体に絶縁膜を被せた電流検出部を配置し、該検出部に流れる電流を測定することにより上記電子線管から放射される電子線量を測定することを特徴とする電子線量の測定方法。
FI (2件)：
G21K 5/04 C
, G21K 5/04 E
