特許
J-GLOBAL ID:200903001987031192
3族窒化物半導体発光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤谷 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-142632
公開番号(公開出願番号):特開平7-326794
出願日: 1994年05月31日
公開日(公表日): 1995年12月12日
要約:
【要約】【目的】AlGaN の半導体を用いた発光素子の発光強度を向上させること、より純青色に近いスペクトルを得ることである。【構成】サファイア基板1上に500 ÅのAlN のバッファ層2が形成され、その上には、順に、膜厚約2.0 μm、電子濃度2 ×1018/cm3のシリコンドープGaN から成る高キャリア濃度n+ 層3、膜厚約2.0 μm、電子濃度 2×1018/cm3のシリコンドープGaN から成る高キャリア濃度n+ 層3、膜厚約0.2 μm、Zn濃度 2×1018/cm3のZnドープのAl0.12Ga0.88N から成るi 層(発光層)4が形成されている。i層4、高キャリア濃度n+ 層3に接続するニッケルで形成された電極8と電極9が形成されている。GaInN で発光強度が最高となるZn濃度を決定、その後、Alの添加により発光波長を短くする。
請求項(抜粋):
亜鉛(Zn)が不純物として添加された3族窒化物半導体(AlxGa1-X)YIn1-YN;X=0,Y=0,X=Y=0を含む)を発光層とする3族窒化物半導体発光素子において、前記発光層は、GaYIn1-YN (Y=1を含む) にZnを不純物として添加するとき最大発光強度が得られるZn濃度のZnを添加し、所望の発光波長が得られるAlの組成比に選択された(AlxGa1-X)YIn1-YN とすることを特徴とする3族窒化物半導体発光素子。
引用特許:
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