特許

J-GLOBAL ID：200903001996251944

形状・位置確認用センサおよび形状・位置確認方法

発明者： 松岡 新吾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 特許業務法人オカダ・フシミ・ヒラノ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-102701
公開番号（公開出願番号）：特開2008-262972
出願日： 2007年04月10日
公開日（公表日）： 2008年10月30日
要約：

【課題】基板の形状および位置を確認することのできる形状・位置確認用センサを提供する。【解決手段】本発明による形状・位置確認用センサ(150)は、圧力測定領域(X1)を備えたシート状圧電体(151)を備え、前記圧力測定領域は、前記シート状圧電体の一方の面において所定の方向に配置された複数の第1の組の帯状電極と、前記シート状圧電体の他方の面において前記所定の方向に対して所定の角度の方向に配置された複数の第2の組の帯状電極と、を備える。本センサにおいて、前記圧力測定領域は、シート状測定対象の形状に合わせて配置され、前記第1の組の帯状電極と前記第2の組の帯状電極との間の電圧を測定し、前記圧力測定領域における圧力分布を測定することによって、前記シート状測定対象の形状または位置が確認できるように構成されたことを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

圧力測定領域を備えたシート状圧電体を備え、 前記圧力測定領域は、前記シート状圧電体の一方の面において所定の方向に配置された複数の第1の組の帯状電極と、前記シート状圧電体の他方の面において前記所定の方向に対して所定の角度の方向に配置された複数の第2の組の帯状電極と、を備え、 前記圧力測定領域は、シート状測定対象の形状に合わせて配置され、 前記第1の組の帯状電極と前記第2の組の帯状電極との間の電圧が測定できるように構成されたことを特徴とする形状・位置確認用センサ。

IPC (1件)：

H01L 21/02

FI (1件)：

H01L21/02 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェハの接合装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-113924   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-163675
  
• 特開昭63-208734
  
• 圧力検出による形状認識装置及びこれを用いたモーションキャプチャー装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-132698   出願人：ソニー株式会社