ビームを用いた表面状態測定方法及びダストモニター装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-316378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-132960
出願日： 1997年10月31日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】表面状態測定の検出感度を向上させる。【解決手段】光ビーム17の照射位置を測定対象物10上で往復移動させる。ダストから返光される散乱光19の強度が変化するので、バックグラウンドノイズ成分である直流信号を除去し、変化成分を抽出すると、高感度でダストの付着状態を検出することができる。変化成分のピーク強度を検出すると、ダスト径を算出することも可能となる。

請求項（抜粋）：

ビームを測定対象物に照射した結果、検出される物理量によって、前記測定対象物の表面又は表面近傍の状態を測定する表面状態測定方法であって、前記ビーム照射位置と前記測定対象物とを相対移動させると共に、前記照射位置を、前記相対移動の方向に沿って、前記相対移動に比べて高速に、微小移動させ、検出される前記物理量から変化成分を抽出することを特徴とする表面状態測定方法。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01N 21/01 , G01N 21/17 , G01N 21/47 , G01N 23/227

FI (5件)：

G01N 21/88 E , G01N 21/01 Z , G01N 21/17 A , G01N 21/47 B , G01N 23/227

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭57-008435
特開昭62-220842
特開平4-363649

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