特許
J-GLOBAL ID:200903002008879514
フラットパネルディスプレイへのIC部品の接合方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡崎 謙秀 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-066817
公開番号(公開出願番号):特開平8-330393
出願日: 1996年03月22日
公開日(公表日): 1996年12月13日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 ディスプレイ電極の所定位置にベアICをフェースダウンで装着し、ICパッドのバンプとディスプレイの電極を確実に生産性よく接合する。【解決手段】 ディスプレイ2の透明部分にIC部品5を異方性導電接着材又は膜20に仮圧着するとき、搭載状態のIC部品と透明部分の位置合わせ部との位置ずれ量を、ディスプレイのIC部品搭載側とは反対側からカメラで検出して、バンプ5aとディスプレイの電極2aとの位置合わせ状態を検査し、不適合な場合には、位置ずれ量をフィードバックし、位置ずれ量を考慮して次のIC部品のバンプとディスプレイの電極との位置合わせを行う。また、バンプとの電極との接合状態を複数箇所で検出し、不適合な場合にはIC部品とディスプレイとの平行度が許容範囲を越えているものとして警告信号を出力する。
請求項(抜粋):
フラットパネルディスプレイに備えられた電極にIC部品を実装する際に、異方性導電接着材または膜を媒介物として接合する場合において、予め加熱されたIC部品の温度をセンサーにより感知して所定の温度に到達していることを判定した後に、IC部品をフラットパネルディスプレイに実装することを特徴とするフラットパネルディスプレイへのIC部品の接合方法。
IPC (7件):
H01L 21/68
, G09F 9/00 338
, H01L 21/60 311
, H01L 21/60 321
, H01L 21/66
, H05K 3/30
, H05K 13/08
FI (7件):
H01L 21/68 F
, G09F 9/00 338
, H01L 21/60 311 Q
, H01L 21/60 321 Y
, H01L 21/66 R
, H05K 3/30
, H05K 13/08 Q
引用特許:
審査官引用 (9件)
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特開平4-302446
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ボンディング方法およびその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-029939
出願人:カシオ計算機株式会社
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特開平2-264444
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特開平3-023646
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特開平4-099039
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特開平4-297044
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半導体装置とその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-092518
出願人:松下電器産業株式会社
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電子部品の実装方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-172977
出願人:松下電器産業株式会社
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ボンディング装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-219997
出願人:株式会社日立製作所, 日立通信システム株式会社
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