特許
J-GLOBAL ID：200903002071988110
標準ガス発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-317377
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133366
出願日： 1999年11月08日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 多種類の液体材料を原料とする標準ガスを得ることができ、しかも広い濃度範囲にわたって標準ガスを連続的に得ることができる標準ガス発生装置を提供すること。【解決手段】 液体を気化する気化装置1に対して、液体材料LMの流量を測定する液体用流量計8を備えた液体材料供給ライン2と、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスDG1 の流量を制御するガス流量制御器14を備えた第1希釈ガスライン3とを並列的に接続するとともに、前記気化装置1に、それにおいて発生したガスGが前記希釈ガスDG1 とともに流れる発生ガスライン4を接続し、この発生ガスライン4にガス流量制御器19を設け、さらに、この発生ガスライン4のガス流量制御器19より下流側に、希釈ガスDG2 の流量を制御するガス流量制御器23を備えた第2希釈ガスライン20を接続している。
請求項（抜粋）：
液体を気化する気化装置に対して、液体材料の流量を測定する液体用流量計を備えた液体材料供給ラインと、キャリアガスとしての機能をも有する希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第1希釈ガスラインとを並列的に接続するとともに、前記気化装置に、それにおいて発生したガスが前記希釈ガスとともに流れる発生ガスラインを接続し、この発生ガスラインにガス流量制御器を設け、さらに、この発生ガスラインのガス流量制御器より下流側に、希釈ガスの流量を制御するガス流量制御器を備えた第2希釈ガスラインを接続したことを特徴とする標準ガス発生装置。
引用特許：
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