特許
J-GLOBAL ID:200903002084807816

スペクトル拡開光線の少なくとも1つのスペクトル領域を選択し検出する装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-039146
公開番号(公開出願番号):特開2001-272275
出願日: 2001年02月15日
公開日(公表日): 2001年10月05日
要約:
【要約】【課題】 好ましくは共焦点走査型顕微鏡のビーム路において、スペクトル拡開光線の少なくとも1つのスペクトル領域を選択かつ検出するための装置。【解決手段】 スペクトル拡開光線は、その選択された部分を重複せずに検出するために、焦点線上で合焦できる。光学素子の光学的に有効な部分は、その表面に沿ってより大きく又はより小さくなり、そのため焦点線に関する光学素子の配向及びその結果生じる焦点線と光学素子の表面の重なり(部分)により、検出器に達するスペクトル領域を定義できる。
請求項(抜粋):
スペクトル拡開光線(1)の少なくとも1つのスペクトル領域を選択かつ検出するための装置において、(a)前記装置により規定される焦点線(2)であって、前記スペクトル拡開光線(1)が該焦点線(2)上で合焦可能であるもの、(b)前記スペクトル拡開光線(1)に配される光学素子(4)であって、(b1)前記光学素子(4)が、前記スペクトル拡開光線(1)の少なくとも一部分の方向を変化させ、かつ(b2)前記スペクトル拡開光線(1)の前記部分と前記光学素子(4)との重なりが、活性領域(4a)を規定ないし画成するもの、及び(c)前記光学素子(4)に関連して配され、かつ前記活性領域(4a)の大きさに応じてスペクトル領域(5)のより小さい又はより大きい部分を受光する検出器(3)、を含むことを特徴とする装置。
IPC (4件):
G01J 3/08 ,  G01J 3/32 ,  G01J 3/36 ,  G02B 21/00
FI (4件):
G01J 3/08 ,  G01J 3/32 ,  G01J 3/36 ,  G02B 21/00
引用特許:
審査官引用 (2件)

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