特許

J-GLOBAL ID：200903002089682590

光学歪の評価方法および評価装置

発明者： 大音 仁昭 ,  尊田 嘉之
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-372822
公開番号（公開出願番号）：特開2003-172713
出願日： 2001年12月06日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】従来のPM法が抱える測定感度の不足および汎用性の欠如を克服する。【解決手段】透明体(ガラス板102)を透過して得られた参照パタン101bの画像と、所定のテンプレート画像とを比較し、この比較結果に基づいて相関値を求めることにより透明体(ガラス板102)の光学歪を評価する。テンプレート画像は、参照パタン101bを拡大または縮小するなどして変形させた画像である。

請求項（抜粋）：

透明体を透過して撮像された参照パタンの画像と所定のテンプレート画像とを比較し、この比較結果に基づいて相関値を求めることにより前記透明体の光学歪を評価する方法において、前記テンプレート画像は、前記参照パタンを変形させた画像であることを特徴とする光学歪の評価方法。

IPC (4件)：

G01N 21/958 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 7/00 300

FI (4件)：

G01N 21/958 ,  G06T 1/00 300 ,  G06T 7/00 300 E ,  G01B 11/24 K

Fターム (53件)：

2F065AA45 ,  2F065AA56 ,  2F065AA65 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065BB22 ,  2F065BB27 ,  2F065CC02 ,  2F065CC11 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF49 ,  2F065FF61 ,  2F065GG03 ,  2F065GG18 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL30 ,  2F065LL49 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2G051AA42 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EC03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051ED15 ,  2G051ED21 ,  5B057AA01 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CD05 ,  5B057DA01 ,  5B057DC34 ,  5L096BA03 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 光学歪の評価方法および評価装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-349088   出願人：旭硝子株式会社
• 測定装置の補正方法および測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-248020   出願人：旭硝子株式会社
• 透視歪の測定方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-187265   出願人：旭硝子株式会社