特許

J-GLOBAL ID：200903002092462593

静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置並びにそれらの製造方法

発明者： 松下 友紀 ,  藤井 正寛
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (6件)： 小林 久夫 ,  安島 清 ,  佐々木 宗治 ,  大村 昇 ,  高梨 範夫 ,  山東 元希
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-336064
公開番号（公開出願番号）：特開2007-143342
出願日： 2005年11月21日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】振動板等の可動電極を当接させる際の当接電圧を低くできる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、それらの製造方法等を得る。【解決手段】個別電極12と、個別電極12と所定の距離で対向して支持され、固定電極との間で発生した静電気力により動作する、板状の可動電極となる振動板22を備え、振動板22の支持された振動板端部22b以外の少なくとも一部である振動板中央部22aを、振動板端部22bよりも薄くし、個別電極12と対向する面と反対側が段状になるように形成するものである。【選択図】図1

請求項１：

固定電極と、 該固定電極と所定の距離で対向して支持され、前記固定電極との間で発生した静電気力により動作する、板状の可動電極とを備え、 前記可動電極の前記支持された部分以外の少なくとも一部を、前記支持された部分よりも薄くし、前記固定電極と対向する面と反対側が段状になるように形成することを特徴とする静電アクチュエータ。

IPC (5件)：

H02N 1/00 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/16 ,  B05C 5/00

FI (4件)：

H02N1/00 ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  B05C5/00 101

Fターム (16件)：

2C057AF01 ,  2C057AF55 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG52 ,  2C057AG53 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP24 ,  2C057AP33 ,  2C057AP61 ,  2C057BA04 ,  2C057BA15 ,  4F041AB01 ,  4F041BA10 ,  4F041BA13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• インクジェットヘッド構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-224687   出願人：株式会社リコー