特許
J-GLOBAL ID：200903002106181762
合成石英ガラス製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-328284
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167735
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 高品質の合成石英ガラスが得られる合成石英ガラス製造装置の提供。【解決手段】 合成石英ガラス製造装置の合成炉10の炉壁を構成する耐火物12は、Al2 O3 を重量比で95%以上含有し、グラスライニングにより形成した厚さ1.1mmのSiO2 の表面層12aを具えている。
請求項（抜粋）：
Al2 O3 を主成分とする耐火物を以って炉壁が構成された合成炉を有する合成石英ガラス製造装置において、前記耐火物は、炉内側の表面にSiO2 を含有する表面層を有することを特徴とする合成石英ガラス製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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