特許

J-GLOBAL ID：200903002107173577

薄膜式センサ

発明者： 吉岡 テツヲ ,  和戸 弘幸
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-256146
公開番号（公開出願番号）：特開2003-065819
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】 基板と、この基板の一面側に形成された平面多角形状のメンブレンと、基板の一面にてメンブレンの輪郭を横断するように形成された膜状の複数の配線リードとを備える薄膜式センサにおいて、メンブレンの機械的強度を向上させるような配線リードの配置構成を実現する。【解決手段】 基板10の一面側には、基板10の他面側を一部除去することによりメンブレン32が形成されており、メンブレン32上には、導体配線33が形成されており、この導体配線33と電気的に接続された複数の配線リード101は、そのメンブレン32の輪郭を跨ぐ部分がメンブレン32の輪郭の頂点を跨ぐ部分のみに存在する。

請求項（抜粋）：

基板(10)と、この基板の一面側に形成された平面多角形状のメンブレン(32)と、前記基板の一面にて前記メンブレンの輪郭を横断するように形成された膜状の複数の配線リード(101)とを備える薄膜式センサにおいて、前記複数の配線リードにおける前記メンブレンの輪郭を跨ぐ部分が、前記メンブレンの輪郭の頂点を跨ぐ部分のみに存在することを特徴とする薄膜式センサ。

IPC (5件)：

G01F 1/692 ,  G01L 19/00 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/12 ,  H01L 29/84

FI (8件)：

G01L 19/00 Z ,  G01N 27/00 K ,  G01N 27/12 B ,  G01N 27/12 G ,  H01L 29/84 B ,  G01F 1/68 104 A ,  G01F 1/68 104 B ,  G01F 1/68 104 C

Fターム (38件)：

2F035EA08 ,  2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD20 ,  2F055EE40 ,  2F055FF49 ,  2F055GG11 ,  2G046AA01 ,  2G046AA09 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BC09 ,  2G046BE03 ,  2G046BF04 ,  2G046FB02 ,  2G046FE00 ,  2G046FE03 ,  2G046FE20 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38 ,  2G046FE41 ,  2G046FE44 ,  2G060AA01 ,  2G060AB00 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AG10 ,  2G060BB09 ,  2G060GA03 ,  4M112AA01 ,  4M112CA01 ,  4M112CA13 ,  4M112DA06 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 流量センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-015269   出願人：三菱電機株式会社
• フローセンサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-033692   出願人：東京瓦斯株式会社, オムロン株式会社
• センサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-006361   出願人：株式会社デンソー