特許

J-GLOBAL ID：200903027151454659

フローセンサ及びその製造方法

発明者： 根田 徳大 ,  中村 健一 ,  椎木 正和 ,  積 知範 ,  佐藤 文彦
出願人/特許権者： 東京瓦斯株式会社 ,  オムロン株式会社
代理人 (1件)： 土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-033692
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227675
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】劈開と異方性エッチングを利用しつつ、ヒータ線をチップの辺に平行に形成して、ヒータ線に垂直方向にガス流が流れてもチップ角による渦の影響がないようにし、流体中の塵埃によりセンサの信頼性が低下することを防止する。【解決手段】本発明のフローセンサは、(100)面の表面及び裏面と<011>軸または<01-1>軸方向にほぼ平行な少なくとも一辺を有するシリコン単結晶基板30と、基板30の裏面側から前記表面に達する様に形成され(111)面の斜面を有する所定形状の貫通孔36と、基板30の表面上に形成され前記貫通孔36を塞ぐ様に形成された自立膜と、自立膜上に形成され、前記基板30の四辺のいずれかの一辺61に平行な方向に延びるヒータ線34とを有する。

請求項（抜粋）：

(100)面の表面及び裏面とを有するシリコン単結晶基板と、該基板の裏面側から前記表面に達する様に形成された貫通孔と、該基板の表面上に形成され前記貫通孔を塞ぐ様に形成された自立膜と、該自立膜上に形成され、前記基板の一辺に平行な方向に延びるヒータ線とを有することを特徴とするフローセンサ。

IPC (3件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01F 1/68 ,  G01P 5/12 C ,  H01L 29/84 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 質量流量センサおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-022709   出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
• 特開昭60-142268
  
• フローセンサ、その製造方法および駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-151092   出願人：木村光照, リコー精器株式会社
• 特開昭60-142268