特許
J-GLOBAL ID：200903002107969150

基板搬送装置

発明者：
七瀬 信五

七瀬 信五 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-180124
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007187
出願日： 1999年06月25日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板の傷やゴミ付着を防止し更に剥離帯電を抑制可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】 基板搬送装置はガラス又はプラスチックからなる基板101を土台にした平面型表示パネルの製造工程中で、基板101の搬送若しくは位置決めに用いるものであり、基板101を載置する平面部を有するステージ1と、平面部に分散して開口した複数の通孔2と、通孔2に空気からなる気体又は不活性な気体Gを適宜供給する気体供給源3とからなり、少なくともステージ1の平面部に対して基板101を着脱する際には、気体供給源3から通孔2に気体Gを供給して基板101と平面部との間に気体Gを導入し、以て基板101を平面部から浮上せしめる。
請求項（抜粋）：
ガラス又はプラスチックからなる基板を土台にした平面型表示パネルの製造工程中で、該基板の搬送若しくは位置決めに用いる基板搬送装置であって、該基板を載置する平面部を有するステージと、該平面部に分散して開口した複数の通孔と、該通孔に空気からなる気体又は不活性な気体を適宜供給する気体供給源とからなり、少なくとも該ステージの平面部に対して該基板を着脱する際には、該気体供給源から該通孔に該気体を供給して該基板と該平面部との間に該気体を導入し、以って該基板を該平面部から浮上せしめることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B65G 49/06
FI (2件)：
H01L 21/68 P ,  B65G 49/06 Z
Fターム (4件)：
5F031CA05 ,  5F031GA62 ,  5F031HA34 ,  5F031HA35
引用特許：
審査官引用 (4件)
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