特許
J-GLOBAL ID：200903002111685604
振動型角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147255
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329445
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：
【要約】【課題】 検出精度の向上を図る。【解決手段】 基板11上に設けられた可動体12を基板11と平行方向に振動させ、角速度入力によるコリオリ力によって発生する可動体12の基板11と垂直方向の変位を、可動体12に対して基板11と反対側に設けた検出電極31と可動体12とにより静電容量の変化として検出する。検出電極を基板面に設ける従来のものに比し、検出電極と基板との絶縁容量を小さくでき、その分検出静電容量への影響を小さくすることができる。
請求項（抜粋）：
基板と、その基板上に設けられた可動体と、その可動体を上記基板と平行方向に振動させる駆動部と、上記可動体と検出電極とによって構成され、角速度入力によるコリオリ力によって発生する上記可動体の上記基板と垂直方向の変位を静電容量の変化として検出する検出部とを有する振動型角速度センサにおいて、上記検出電極が上記可動体に対して上記基板と反対側に設けられていることを特徴とする振動型角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 29/84 Z
