特許
J-GLOBAL ID：200903002122048193
シート貼付装置及び貼付方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-198351
公開番号（公開出願番号）：特開2008-028104
出願日： 2006年07月20日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】剥離シートと接着シートとを剥離する際のピールプレートに加わる張力を検出し、検出張力が設定値となるように保ちつつ接着シートを板状部材に貼付する装置及び方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハWの面に臨む位置に接着シートSを繰り出すシート繰出ユニット12と、接着シートSに押圧力を付与して当該接着シートSをウエハWに貼付する押圧ローラ14と、剥離シートPSと接着シートSとを剥離するピールプレートPPを含む剥離ユニット13と、この剥離ユニット13に加わる剥離時の張力を検出するロードセル35と、当該ロードセル35の出力を入力として所定の処理を行うコントローラ18とを備える。剥離シートPSを接着シートSから剥離する際に、剥離ユニット13に加わる張力がロードセル35により検出され、当該検出張力がコントローラ18に入力され、コントローラ18は、検出張力が設定値となるようにモータM1を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を支持して当該原反を繰出可能に設けたシート繰出ユニットと、前記原反を繰り出す途中で剥離シートと接着シートとを剥離する剥離ユニットと、前記剥離シートが剥離された後の接着シートを押圧して板状部材の面に貼付する押圧ユニットと、各ユニットを所定制御する制御手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離シートを接着シートから剥離する際に、前記剥離シートが前記剥離ユニットに加える張力を検出し、当該検出張力を前記制御手段に出力する検出装置を更に含み、
前記制御手段は、前記検出張力が予め設定された値となるように所定の制御を行うことを特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
5F031CA02
, 5F031HA58
, 5F031JA01
, 5F031JA45
, 5F031LA15
, 5F031MA37
, 5F031PA13
, 5F031PA16
