特許

J-GLOBAL ID：200903002127883813

微粒子の分級方法および成膜方法

発明者： 柴田 尚存 ,  齋藤 康行 ,  石倉 淳理
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-015524
公開番号（公開出願番号）：特開2006-198577
出願日： 2005年01月24日
公開日（公表日）： 2006年08月03日
要約：

【課題】 目的の粒径をもった微粒子を効率よく分級する分級方法を提供し、該分級方法を用いた、成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】 搬送ガス中に分散させた微粒子を搬送管内に流しながら該微粒子を分級する分級方法であって、前記搬送ガス中に分散させた前記微粒子の進行方向に対して、前記搬送管内に、各々の孔の位置が一致しないように、各々が多数の孔を備える多孔フィルタを複数配置すると共に、前記多孔フィルタを加熱する、ことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

搬送ガス中に分散させた微粒子を搬送管内に流しながら該微粒子を分級する分級方法であって、前記搬送ガス中に分散させた前記微粒子の進行方向に対して、前記搬送管内に、各々の孔の位置が一致しないように、各々が多数の孔を備える多孔フィルタを複数配置すると共に、前記多孔フィルタを加熱する、ことを特徴とする微粒子の分級方法。

IPC (3件)：

B07B 7/06 ,  B07B 9/00 ,  C23C 14/22

FI (3件)：

B07B7/06 ,  B07B9/00 Z ,  C23C14/22 Z

Fターム (14件)：

4D021AA02 ,  4D021AB01 ,  4D021CA01 ,  4D021DB01 ,  4D021EA10 ,  4D021FA18 ,  4D021GA03 ,  4D021GA10 ,  4D021GA20 ,  4D021GB03 ,  4D021HA10 ,  4K029CA00 ,  4K029DA05 ,  4K029DB10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 超微粒子の成膜,成形方法及びその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-174048   出願人：工業技術院長