超微粒子の成膜,成形方法及びその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：工業技術院機械技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-174048
公開番号（公開出願番号）：特開平11-021677
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：

【要約】【課題】簡単な構成で不要な粒径の超微粒子を除去する超微粒子の成膜,成形方法及びその装置を提供する。【解決手段】超微粒子分級装置11,12を超微粒子の搬送路の途中に配設するか或いは超微粒子の発生装置の後方に配設することによって、均質な超微粒子のみを被膜や薄膜或いは成形品の原料とする。

請求項（抜粋）：

エアロゾル中の超微粒子を粒径に応じて分級した超微粒子の堆積方法であって、上記エアロゾルの流れと対面するように遮蔽板を設けて、該遮蔽板に上記エアロゾルを吹き付けることにより、上記エアロゾル中の特定の粒径以上の超微粒子を上記遮蔽板上に堆積させて除去することによって、上記特定の粒径未満の超微粒子のみを分級して成膜することを特徴とする超微粒子の成膜方法。

IPC (4件)：

C23C 24/04 , B01J 19/00 , B05D 1/00 , B22F 1/00

FI (4件)：

C23C 24/04 , B01J 19/00 K , B05D 1/00 , B22F 1/00 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

気流分級装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-019428 出願人：日鉄鉱業株式会社
気流分級機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-165654 出願人：日本ニユーマチツク工業株式会社

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