特許
J-GLOBAL ID：200903002129365275

ウェーハ研磨ヘッド、ウェーハ研磨装置ならびにウェーハの製造方法

発明者：
細木 寛二

細木 寛二 について

, 
柴谷 博志

柴谷 博志 について

, 
駒崎 雅人

駒崎 雅人 について

, 
佐野 仁朗

佐野 仁朗 について


出願人/特許権者：
三菱マテリアル株式会社

三菱マテリアル株式会社 について


代理人 (1件)： 志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-029388
公開番号（公開出願番号）：特開2000-225556
出願日： 1999年02月05日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：
【要約】【課題】 ウェーハ研磨ヘッドの製造に際し、リテーナリングの研磨作業を効率よく行い作業工数を減らして工期の短縮ならびに製造コストの削減を可能にする。【解決手段】 天板部1aと周壁部1bとからなるヘッド本体1と、ヘッド本体1内に張設されたダイヤフラム2と、ダイヤフラム2の変形に伴ってウェーハWを変位させるキャリア3と、ダイヤフラム2の下面に当接し、その変形に伴って変位可能に設けられたリテーナリング4と、ダイヤフラム2をヘッド軸線L方向に変形させる圧力調整機構5とを具備するウェーハ研磨ヘッドHにおいて、リテーナリング4を、ヘッド本体1、ダイヤフラム2、キャリア3のいずれからも独立させ、ダイヤフラム2に対して離間可能に保持することで、ウェーハ研磨ヘッドHへの組み付け後もリテーナリング4に歪みが生じなくなり、これによって組み付け後のリテーナリング4の研磨作業が不要になる。
請求項（抜粋）：
天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、該ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に張設されたダイヤフラムと、該ダイヤフラムの下面側に固定されるとともに研磨すべきウェーハを下部に保持可能に設けられ、下部に保持した該ウェーハをダイヤフラムの変形に伴ってヘッド軸線方向に変位させるキャリアと、該キャリアの外周と前記周壁部の内壁との間に該周壁部と同心状に配置されて前記ダイヤフラムの下面に当接し、該ダイヤフラムの変形に伴って前記ヘッド軸線方向に変位可能に設けられたリテーナリングと、前記ヘッド本体と前記ダイヤフラムとの間に形成された流体室に満たされる流体の圧力を調整することによりダイヤフラムを前記ヘッド軸線方向に変形させる圧力調整機構とを具備するウェーハ研磨ヘッドであって、前記リテーナリングは、前記ヘッド本体、ダイヤフラム、キャリアのいずれからも独立しかつダイヤフラムに対して離間可能に保持されていることを特徴とするウェーハ研磨ヘッド。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622
FI (2件)：
B24B 37/00 B ,  H01L 21/304 622 K
Fターム (7件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AA12 ,  3C058AB04 ,  3C058CB05 ,  3C058DA06 ,  3C058DA17
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM