特許

J-GLOBAL ID：200903002150947462

昇降機構およびキャリア搬送装置

発明者： 谷川 修
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-122139
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314890
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 軸継手にスリップや破損等の故障が発生したとしても従動軸が駆動軸により制動されて、昇降体の落下を防止する。【解決手段】 駆動軸15と従動軸16を軸継手17を介して連結し、該従動軸16の回転により昇降体18を吊り材19を介して昇降させる昇降機構20において、上記駆動軸15と従動軸16に軸継手17を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部33を有する補助継手34を設け、軸継手17の故障時に上記補助継手34の腕部33が互いに係合するように構成している。

請求項（抜粋）：

駆動軸と従動軸を軸継手を介して連結し、該駆動軸の回転に応じた従動軸の回転により昇降体を吊り材を介して昇降させる昇降機構において、上記駆動軸と従動軸に軸継手を中心とした同一円周上に位相をずらして互いに対向する方向へ延出した腕部を有する補助継手を設け、軸継手の故障時に上記補助継手の腕部が互いに係合するように構成したことを特徴とする昇降機構。

IPC (3件)：

B66F 7/02 ,  B66F 17/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B66F 7/02 E ,  B66F 7/02 D ,  B66F 17/00 F ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開昭52-020552
  
• 動力伝達装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-329594   出願人：日本発条株式会社