特許
J-GLOBAL ID：200903002169453533
共焦点装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125481
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319323
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 照射光の走査が不要な共焦点装置を実現する。【解決手段】 試料の共焦点画像を測定する共焦点装置において、光源と、複数の開口が設けられた平板と、複数の受光セルから構成される受光器と、光源からの入射光を透過若しくは反射させて平板に入射し、平板からの出力光を受光器に反射若しくは透過させるビームスプリッタと、試料上に平板の開口を通過した光の像を結像させ、試料からの戻り光を平板に集光する対物レンズとを備え、受光器に集光される光スポット間隔が受光セル間隔の2倍以下である。
請求項（抜粋）：
試料の共焦点画像を測定する共焦点装置において、光源と、複数の開口が設けられた平板と、複数の受光セルから構成される受光器と、前記光源からの入射光を透過若しくは反射させて前記平板に入射し、前記平板からの出力光を前記受光器に反射若しくは透過させるビームスプリッタと、前記試料上に前記平板の前記開口を通過した光の像を結像させ、前記試料からの戻り光を前記平板に集光する対物レンズとを備え、前記受光器に集光される光スポット間隔が前記受光セル間隔の2倍以下であることを特徴とする共焦点装置。
IPC (3件)：
G02B 21/06
, G02B 21/36
, G02B 26/10
G02B 21/06
, G02B 21/36
, G02B 26/10
