特許

J-GLOBAL ID：200903002171375647

複合クラスタ及びその製造方法、並びにその製造装置

発明者： 賈 明洋 ,  福田 明 ,  桧山 浩国
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-107414
公開番号（公開出願番号）：特開2002-305163
出願日： 2001年04月05日
公開日（公表日）： 2002年10月18日
要約：

【要約】【課題】 基板表面に設けた配線形成用の微細凹部の内部に、純度の高い配線金属を確実に埋込んで欠陥の無い健全な配線構造を得るのに使用して最適な複合クラスタ及びその製造方法、並びにその製造装置を提供する。【解決手段】 金属クラスタ28の周囲をガス分子30またはガスクラスタが取り巻いた構造をもち、金属24を蒸発させ凝縮させて金属クラスタ28を作製し、この金属クラスタ28の外側にガス分子30またはガスクラスタをファンデルワールス力で付着させて製造される。

請求項（抜粋）：

金属クラスタの周囲をガス分子またはガスクラスタが取り巻いた構造をもつ複合クラスタ。

IPC (3件)：

H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  C23C 14/24

FI (3件)：

H01L 21/285 P ,  H01L 21/285 301 Z ,  C23C 14/24 Z

Fターム (33件)：

4K029AA06 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA07 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA10 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BC03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD06 ,  4M104DD33 ,  4M104DD34 ,  4M104HH14