福田明

フクダアキラ | Fukuda Akira

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： https://youtu.be/sq0_Dp9TTMc

研究分野 (2件)：材料加工、組織制御 , 加工学、生産工学

研究キーワード (1件)：化学的機械研磨

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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論文 (14件)：

MISC (4件)：

福田明. CMPスラリー流れの可視化技術. 月刊トライボロジー. 2023. 435. 44-47
福田明. 特集砥石や研磨パッドの成形とその効果 CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係. 砥粒加工学会誌. 2023. 67. 2. 79-82
福田明. 拡大パッド模型を使ったCMPスラリー流れの可視化. 月刊トライボロジー. 2020. 399. 44-47
土肥俊郎, 檜山浩国, 福田明, 黒河周平. 半導体デバイスと平坦化加工技術の動向と今後の展開. 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering. 2007. 73. 7. 745-750

特許 (31件)：

書籍 (2件)：

講演・口頭発表等 (49件)：

CMPにおけるウェーハ・研磨パッド間スラリー流れの可視化(第5報)ガラスCMPにおける研磨レートとスラリー循環流れの関係
(2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024)
ガラスCMPにおける研磨パッド表面性状パラメータと研磨能率との関係 -主成分分析を用いた評価の可能性-
(2023年度精密工学会中国四国支部・九州支部共催広島地方講演会 2023)
ガラス研磨における研磨レートとスラリー循環流れの関係
(2023年度精密工学会中国四国支部・九州支部共催広島地方講演会 2023)
Development of Simulation Method for Material Removal Rate Distribution Considering Slurry Polishing Ability
(The 18th International Conference on Planarization/CMP Technology 2023 2023)
ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係
(精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021)

学歴 (4件)：

学位 (1件)：

経歴 (5件)：

委員歴 (5件)：

受賞 (2件)：

2006/07 - 株式会社荏原総合研究所総研賞
2001/05 - International Conference on Fundamentals of Adsorption 7 Best Poster Award

所属学会 (3件)：

砥粒加工学会 , 精密工学会 , 日本機械学会

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福田 明