特許
J-GLOBAL ID：200903002192074990
基板検査装置およびこれを備えた基板検査システム並びに基板検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-033125
公開番号（公開出願番号）：特開2000-232140
出願日： 1999年02月10日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 分解能に優れ、かつ検査効率の高い基板検査装置およびこれを備えた基板検査システム並びに基板検査方法を提供する。【解決手段】 試料である基板11に電子ビームを一次電子ビーム31a,31bとして照射する一次電子ビーム照射手段と、一次電子ビーム31a,31bの照射を受けて、基板11から発生する二次電子、反射電子および後方散乱電子を導いて二次電子ビーム32a,32bとして拡大投影する写像投影手段と、二次電子ビーム32a,32bを検出し、画像信号として出力する電子ビーム検出手段と、この電子ビーム検出手段から供給される画像信号を受けて電子ビーム画像を表示する表示器30と、上記画像信号を処理して画像データを出力する信号処理手段62と、上記画像データを格納する記憶手段63と、制御手段29とを備えた基板検査システムにおいて、二次電子ビーム32a,32bを直接画像信号に変換する薄型の裏面照射型CCD素子を上記電子ビーム検出手段に備える。
請求項（抜粋）：
試料である基板に電子ビームを一次電子ビームとして照射する一次電子ビーム照射手段と、前記一次電子ビームの照射を受けて、前記基板から発生する二次電子および反射電子を導いて二次電子ビームとして電子像を拡大投影する写像投影手段と、前記写像投影手段により拡大投影された前記二次電子ビームを直接画像信号に変換する電子ビーム検出手段と、前記電子ビーム検出手段から供給される前記画像信号を受けて電子ビーム画像を表示する表示手段とを備えた基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 J
, G01B 15/00 B
2F067AA45
, 2F067BB04
, 2F067CC16
, 2F067CC17
, 2F067EE03
, 2F067EE04
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067LL16
, 2F067QQ01
, 2F067RR35
, 2F067SS02
, 4M106AA01
, 4M106AA09
, 4M106BA02
, 4M106CA39
, 4M106DB04
, 4M106DB05
, 4M106DB11
, 4M106DJ11
, 4M106DJ23
