特許
J-GLOBAL ID：200903002199176607

光照射装置

発明者：
米田賢治

米田賢治 について


出願人/特許権者：
シーシーエス株式会社

シーシーエス株式会社 について


代理人 (1件)： 西村 竜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-028296
公開番号（公開出願番号）：特開2006-214888
出願日： 2005年02月03日
公開日（公表日）： 2006年08月17日
要約：
【課題】光量ロスを可及的に抑えつつ均一な光L(L1、L2)を観測対象面WFに照射することができ、観測精度をさらに向上せしめられる。【解決手段】複数の発光素子302が第1の方向に沿って等間隔、かつ前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って前記間隔と異なる間隔または同一間隔で、格子点上に並べ設けられている光源と、その光源から観測対象面方向に所定の距離を設定して設けられ、透明な角柱状をなす屈折要素40を並行に連ねてシート状に形成した屈折部材4とを備え、前記光源から1又は複数枚の屈折部材4を介して前記観測対象面に光Lを照射するよう構成され、前記観測対象面から前記屈折部材4を介して観察される発光素子が虚像302a,302bにより増加し、かつそれら観察される発光素子が正方格子点又は正三角格子点上にほぼ均一に配置されるように構成されている光照射装置。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
所定の観測方向から観測される観測対象面に光を照射するものであって、 複数の発光素子が第1の方向に沿って等間隔、かつ前記第1の方向とは異なる第2の方向に沿って前記間隔と異なる間隔または同一間隔で、格子点上に並べ設けられている光源と、 その光源から前記観測対象面方向に所定の距離を設定して設けられ、透明な角柱状をなす屈折要素を並行に連ねてシート状に形成した屈折部材とを備え、 前記光源から1又は複数枚の屈折部材を介して前記観測対象面に光を照射するよう構成されているとともに、 前記観測対象面から前記屈折部材を介して観察される発光素子が虚像により増加し、かつそれら観察される発光素子が正方格子点又は正三角格子点上にほぼ均一に配置されるように構成されていることを特徴とする光照射装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84 ,  F21V 5/04 ,  F21S 8/04
FI (4件)：
G01N21/84 E ,  F21V5/04 C ,  F21V5/04 D ,  F21S1/02 G
Fターム (4件)：
2G051AA90 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB20
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 検査用照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-290296   出願人：シーシーエス株式会社
審査官引用 (11件)
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