特許

J-GLOBAL ID：200903002209560990

光量均一化素子及び光量均一化装置

発明者： 勝沼 淳
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-306133
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140417
出願日： 1993年11月12日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】 従来の均一照明装置より小型で簡単な構造であり、比較的低コストで均一な照度分布の照明を実現することのできるものを得る。【構成】 複数の入射領域に分割された入射面と、入射面からの光を入射光と反射光とに分割する光分割合成手段と、反射光の進行光路上に設けられた内部光路形成手段とを備え、;入射面は、定められた方向に分割され、光分割合成手段は入射領域に対応して設けられた光分割面からなり、内部光路形成手段は端部の光分割面を透過した光束を他方の端部の光分割面に入射させるように導いて、内部周回経路を構成することによって、内部周回経路上の光束を反射させると共に合成して射出させるもの。

請求項（抜粋）：

複数の入射領域に分割された入射面と、該入射面から入射した光束を透過光と反射光とに分割する光分割合成手段と、前記反射光の進行光路上に設けられた内部光路形成手段と、を備え;前記入射面は、予め定められた一方向に対して複数の入射領域に分割され;前記光分割合成手段は、夫々の入射領域に対応して設けられた複数の第1の光分割面からなり、個々の前記光分割面は入射面に対して予め定められた角度で互いに平行に設けられ;前記内部光路形成手段は、前記反射光の進行光路上の前記方向における端部の光分割面を透過した光束を他方の端部の光分割面に裏面側から前記進行形路上に入射させるように導いて、内部周回経路を構成するものであり;前記内部周回経路上の光束を前記光分割面の裏面で反射させると共に前記入射光の透過光と合成して射出させることを特徴とする光量均一化素子。

IPC (2件)：

G02B 27/10 ,  G02B 27/00

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-367836
  
• 光遅延回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-005878   出願人：三菱電機株式会社
• 特許第2788434号