特許

J-GLOBAL ID：200903002226895289

圧力センサ

発明者： 菅原 淳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (4件)： 須山 佐一 ,  川原 行雄 ,  山下 聡 ,  須山 英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-162623
公開番号（公開出願番号）：特開2009-002740
出願日： 2007年06月20日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】耐久性を向上した圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサが,第1の弾性基板と,前記第1の弾性基板の主面に設けられた複数の第1の突起部と,前記第1の弾性基板の前記主面側に配置され,複数の第1の電極と,複数の第1の穴部と,を有する第1のフレキシブル基板と,前記第1のフレキシブル基板と対向して配置され,複数の第2の電極と,複数の第2の穴部と,を有する第2のフレキシブル基板と,前記第2のフレキシブル基板の前記第1のフレキシブル基板と対向する面とは反対の面側に配置される第2の弾性基板と,を具備し,前記第1の突起部は,前記複数の第1の穴部をそれぞれ貫通し,前記第2のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有し,前記第2の突起部は,前記複数の第2の穴部をそれぞれ貫通し,前記第1のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1の弾性基板と, 前記第1の弾性基板の主面に設けられた複数の第1の突起部と, 前記第1の弾性基板の前記主面側に配置され,複数の第1の電極と,複数の第1の穴部と,を有する第1のフレキシブル基板と, 前記第1のフレキシブル基板と対向して配置され,複数の第2の電極と,複数の第2の穴部と,を有する第2のフレキシブル基板と, 前記第2のフレキシブル基板の前記第1のフレキシブル基板と対向する面とは反対の面側に配置される第2の弾性基板と,を具備し, 前記第1の突起部は,前記複数の第1の穴部をそれぞれ貫通し,前記第2のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有し, 前記第2の突起部は,前記複数の第2の穴部をそれぞれ貫通し,前記第1のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有する, ことを特徴とする圧力センサ。

IPC (1件)：

G01L 5/00

FI (1件)：

G01L5/00 101Z

Fターム (5件)：

2F051AA01 ,  2F051AA10 ,  2F051AA17 ,  2F051AA18 ,  2F051AB06

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 触覚センサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-067531   出願人：株式会社東芝