特許
J-GLOBAL ID:200903002227223578

高濃度オゾンガス発生装置およびそのオゾンガス発生量制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 志賀 富士弥 (外1名) ,  志賀 富士弥 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-318035
公開番号(公開出願番号):特開2001-139310
出願日: 1999年11月09日
公開日(公表日): 2001年05月22日
要約:
【要約】【課題】 液体オゾンをレーザー光線により局部的に加熱して、液体オゾンより高濃度オゾンガスを安全かつ効率的に取出すことにある。【解決手段】 オゾンを冷却するための冷凍機11と液体オゾンを溜めるベッセル管なるオゾンチャンバー12から成り、オゾンチャンバー12の下部を冷凍機11のコールドヘッド13に接触させて所望の温度まで冷却する構造となっている。オゾンチャンバー12と外容器14の隙間には、断熱材を入れ、かつ真空に引くことで外部からの熱流入を防止する構造となっている。オゾンチャンバー12の上部には、ビューポート30及びプリズム等からなる反射鏡31を取り付けるとともに、ビューポート13の外側にレーザ光線照射装置32を設置する。そして、このレーザ光線照射装置32から発せられるレーザ光線を、ビューポート30から反射鏡31を経て液体オゾン24の液面に照射する。
請求項(抜粋):
酸素を含有するガスをオゾン化してオゾン含有ガスを生成し、このオゾン含有ガスを導入配管によりチャンバーに導入し、前記チャンバーの下部を冷却制御して前記チャンバーにオゾンのみを液化生成するとともに、チャンバーに導入されたオゾン含有ガスのうち液化されなかったオゾンガスおよび酸素ガスを排気管路により前記チャンバーより排気し、前記チャンバーには一定圧力以上で開放される安全弁が接続されるとともに、チャンバーの下部を冷却する手段として冷凍機を使用し、冷凍機に設けられているコールドヘッドと前記チャンバー下部は冷却用金属ブロックで接続されている装置において、前記チャンバー外部にレーザ光線照射装置を設け、このレーザ光線照射装置からレーザ光線を前記液化生成されたオゾンに照射し気化させて高濃度オゾンガスを発生させることを特徴とする高濃度オゾンガス発生装置。
IPC (2件):
C01B 13/10 ,  F25J 3/06
FI (2件):
C01B 13/10 Z ,  F25J 3/06
Fターム (14件):
4D047AA07 ,  4D047AB00 ,  4D047BA06 ,  4D047CA06 ,  4D047CA15 ,  4D047DA01 ,  4G042CA01 ,  4G042CB14 ,  4G042CB19 ,  4G042CB24 ,  4G042CC12 ,  4G042CC23 ,  4G042CD03 ,  4G042DC03
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭51-017196

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