特許
J-GLOBAL ID：200903002245465945

半導体ウエハのID認識装置及びID認識ソータシステム

発明者：
鈴木 栄子

鈴木 栄子 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-106180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291054
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 多様に変化するウエハ状態において正確なウエハIDを確定する。【解決手段】 カメラ照明制御部10は、読み取り光学条件記憶部5に記憶された読み取り光学条件となるよう撮像光学手段の光源を制御する。ID認識処理部6は、複数の読み取り光学条件で得られた各画像に対して認識処理を行なうと共に、各読み取り光学条件ごとに読み取りの確度を示す評価点数を算出して、認識結果と評価点数を記憶する。点数比較部7は、ID認識処理部6に記憶された、最も評価点数が高い読み取り光学条件での認識結果を半導体ウエハのIDとして確定する。ソータ制御コンピュータ3は、確定したウエハIDに基づいて半導体ウエハのソート作業を実行する。
請求項（抜粋）：
半導体ウエハ上の任意の位置に形成された識別情報(ID)を読み取るための撮像光学手段と、予め登録された複数の読み取り光学条件で前記撮像光学手段に前記IDを読み取らせ、複数の読み取り光学条件で得られた各画像に対して認識処理を行なうと共に、各読み取り光学条件ごとに読み取りの確度を示す評価点数を算出して、最も評価点数が高い読み取り光学条件での認識結果を前記半導体ウエハのIDとして採用する認識処理手段とを有することを特徴とする半導体ウエハのID認識装置。
IPC (6件)：
G06K 9/20 320 ,  G06K 7/00 ,  G06K 13/07 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68
FI (6件)：
G06K 9/20 320 G ,  G06K 7/00 K ,  G06K 13/07 D ,  G06T 1/00 305 Z ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/68 A
Fターム (30件)：
5B023JA04 ,  5B029AA01 ,  5B029BB05 ,  5B029CC03 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA15 ,  5B072AA02 ,  5B072CC00 ,  5B072CC38 ,  5B072DD02 ,  5B072DD22 ,  5B072DD23 ,  5B072EE02 ,  5B072FF02 ,  5B072JJ01 ,  5B072JJ06 ,  5B072KK01 ,  5B072KK06 ,  5B072LL07 ,  5B072LL15 ,  5B072MM11 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA50 ,  5F031PA02
引用特許：
審査官引用 (7件)
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